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duv euv差别在小辭典》什麼是DUV設備? - 自由財經的討論與評價

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DUV 光刻機光源為準分子雷射,而EUV光刻機則是雷射激發等離子來發射EUV光子。通過不同方式,二者發出的光源也不同。其中,DUV光刻機的波長能達到193納米, ...

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    duv euv差别在DUV和EUV光刻机的区别在哪? - 智通财经的討論與評價

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    通过不同方式,二者发出的光源也不同。其中,DUV光刻机的波长能达到193纳米,而EUV光源的波长则为13.5纳米。 二者之间的差距 ...

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